특수가스

반도체 제조 공정에 사용되는 고순도 특수가스입니다.
 에칭, 증착(CVD), 도핑, 클리닝 등 다양한 공정에 필수입니다.
 NF₃, SiH₄, NH₃, HCl, PH₃ 등 다양한 품목을 취급합니다.
 Class 10~100 수준의 초고순도 가스 공급 시스템을 갖추고 있습니다.

산업 및 연구 목적에 맞춘 맞춤형 조성 가스입니다.
 분석용, 교정용, 용접, 의료, 환경 측정 등 다양한 용도에 적용됩니다.
 정밀한 농도 제어 및 국제 규격 인증 가능
 사용 목적에 맞춘 고압 실린더 및 패키지 제공

고위험 반응성 또는 유해성 가스를 안전하게 공급합니다.
 반도체·화학 공정 및 특수 실험에 사용되는 고순도 가스입니다.
 Cl₂, H₂S, SO₂, CO, NO 등 다양한 품목 취급
 전용 용기, 밸브, 누출방지 시스템 완비

EO(Ethylene Oxide), H₂O₂ 등 의료기기 멸균에 사용되는 특수가스입니다.
 저온에서도 살균 효과가 뛰어나 열에 민감한 기기 멸균에 적합합니다.
 제약, 의료기기 산업에서 필수적인 멸균 솔루션 제공
 안전 규정에 맞춘 정밀한 농도 조절 및 포장 시스템 운용

분석기기, 연구개발, 표준 교정용으로 사용되는 고순도 희귀가스입니다.
 He, Ne, Kr, Xe 등 고가·고순도 기체를 안정적으로 공급합니다.
 GC, LC, MS 등의 분석 장비에 최적화
 초고순도 등급(99.9999% 이상) 및 정밀한 유량 관리 제공